40L真空等離子清洗機NE-PE40F

產(chǎn)品型號：NE-PE40F
性能特點：干式、無污染
產(chǎn)品用途：材料表面清潔、刻蝕、活化、改性

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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

本系統(tǒng)使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中放電系統(tǒng)由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網(wǎng)絡組成，真空系統(tǒng)由真空泵、充氣系統(tǒng)、密封件、閥門、壓強感應器組成，真空泵抽取真空并維持反應室內(nèi)氣壓平衡，壓強感應器測量反應時的壓強。反應腔體要求反應室真空密封同時具備輻射防護。充氣系統(tǒng)由氣管、流量計和閥門組成，目的是定量向反應室充入反應氣體。電源使用的是固態(tài)射頻電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護功能可實現(xiàn)過溫、反射功率保護。控制系統(tǒng)可實現(xiàn)電源輸出功率、放電時間、氣路開關的控制。
等離子清洗機應用

真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：

高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設計、體積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
前設開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進氣孔，以便于形成動態(tài)循環(huán)、均勻進氣提高清洗的效果。
兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體。耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。

真空等離子清洗機清洗原理：

在清洗過程中通過射頻電源電離真空腔內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體，等離子體具有高能量可以通過物理作用轟擊材料表面使材料表面的污染物從金材料表面脫落，其次電離某種氣體可以產(chǎn)生對應的活性粒子，活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學反應進而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應腔體達到清洗物體表面的效果。

等離子清洗的過程不使用化學試劑，不會造成二次污染;真空等離子清洗機可重復性強，所需設備和運行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實現(xiàn)對金屬表面的整體或某些局部及復雜結(jié)構(gòu)的清洗，有些經(jīng)過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機在微電子工業(yè)、半導體業(yè)等高科技領域的應用將會越來越廣泛。

項目	型號規(guī)格	參數(shù)
等離子體發(fā)生器	功率	0-500W可調(diào)
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內(nèi)部尺寸	350405300（寬高深）
	腔體容積	42L
	材質(zhì)	不銹鋼/鋁合金
	電極層數(shù)	3層
	工作托盤	標配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng)	系統(tǒng)控制	PLC
控制系統(tǒng)	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng)	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統(tǒng)	氣體流量控制	MFC氣體質(zhì)量流量計
外觀參數(shù)	外形尺寸	6851450830（寬高深）